- 作者： 呂助增
- 作者服務機構： 國立清華大學物理系暨材料科學中心
- 中文摘要： 本研究報告先就金屬矽化物之種類及成長方法作一概述，次就矽化物結構鑑定方法，矽化物之光學及電磁特性測量依序說明，由本實驗之數據推測矽化物電子傳輸之物理機制，最後以矽化物在大型積體電路及光電元件之應用，以及其在學術研究之潛具價值作結尾。矽化物之性質一般隸屬半金屬混合物（intermetallic compound），光學性質粗略符合於古典 Drude 理論，電學性質則具電子電洞雙帶（two-band）結構，物理機制介於金屬與半導體間，故相當之複雜。
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