- 作者: 呂助增
- 作者服務機構: 國立清華大學物理系暨電機系教授
- 中文摘要: 木實驗室首先製作一強烈閃光燈,能有效的使經離子佈植後之半導體恢復結晶狀態,並可解決半導體之金屬化成本昂貴及處理不妥易產生漏電之缺點;該脈衝強光之寬度為100微秒,照射能量最高可達每平方厘米30焦耳,經閃光褪火後之半導體,其表面電阻可迅速降至每一平方單位在100歐姆以下,電子顯微鏡之電子繞射圖形可觀察到單晶之完美結構,本文分別從理論上熱傳導之架構、儀器裝置及樣品測定,加以探討閃光燈褪火之來龍去脈。
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- 中文關鍵字: 閃光燈; 砂晶片; 褪火; 金屬化
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